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2023年8月16日上午，嘉善復旦研究院開園儀式在嘉興嘉善世博開元名都大酒店成功舉行。本次活動由嘉善縣人民政府、復旦大學共同主辦，嘉善復旦研究院承辦。復旦大學黨委書記裘新，復旦大學校長、中科院院士金力，復旦大學常務副校長許征，浙江省科技廳二級巡視員曹華芬，嘉興市委書記陳偉，嘉興市副市長倪滬平，嘉興市委常委、嘉善縣委書記江海洋，嘉善復旦研究院院長張衛等出席開園儀式，儀式現場近200人見證嘉善復旦研究院正式開園。開園儀式上，萬業企業（600641）旗下嘉芯半導體設備科技有限公司（以下簡稱“嘉芯半導體”）與嘉善復旦研究院宣布達成戰略合作。嘉善復旦研究院副院長丁士進先生、嘉芯半導體設備科技有限公司董事長兼CEO周偉芳女士等領導參加戰略簽約儀式。
根據戰略合作協議的內容，雙方將秉持“互利共贏、開放公平、自愿平等、優勢互補”的原則，建立戰略合作伙伴關系，共同攜手就集成電路領域的科研合作、產業合作、人才交流等方面形成長期穩定的合作關系，充分發揮各自的資源優勢，實現共同發展的戰略目標，合作重點將圍繞技術攻關、創新平臺項目申報、科技成果轉化推廣、研發資源及服務開放共享、產-學-研深度融合等領域進行全方位互利合作，以期推動嘉善及浙江集成電路高質量“芯”發展。
從整體實力來看，戰略合作雙方在各自領域具有長期的經驗和技術積累，具備廣泛的優勢集成與合作互補基礎。嘉芯半導體作為本土半導體核心裝備新銳企業之一，于2021年4月由半導體設備上市公司萬業企業攜手全球知名產業專家共同投資成立，總投資規模達20億元，用地面積109畝，公司研發及制造刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理等等集成電路成熟工藝的關鍵設備，產品范圍覆蓋芯片制造核心設備的多個重要品類。自2022年下半年開始，嘉芯半導體多次中標客戶特色工藝生產線，包含氮化硅等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、深槽刻蝕機、側墻等離子刻蝕機；高密度等離子薄膜沉積設備（HDP-CVD)、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學沉積設備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設備（Metal Sputter(Al/Ti/TiN)）、快速熱處理（RTP）設備以及雙燃燒+雙水洗尾氣處理等多類設備。
嘉善復旦研究院是為響應和落實《長三角一體化發展規劃綱要》國家戰略而建設的重點實驗室。依托復旦大學集成電路全產業鏈學科優勢，研究院致力于高能級創新載體建設、科研攻關與成果轉化、賦能本地產業升級、打造協同創新生態、助力數字化改革。作為首輪重點建設國家集成電路創新中心浙江分中心，研究院承擔著復旦大學人才資源、創新資源，產業資源與浙江區域特色經濟精準對接的“橋頭堡”，推動長三角一體化協同創新產業體系建設。
此次戰略合作標志著雙方在深化合作、協同發展的道路上樹立起新的里程碑，充分發揮“產業+學研”雙輪驅動功能，實現提升技術創新能力、科研成果加速轉化的雙向優勢賦能，并同步鏈接校企在技術研發、人才培養、市場開拓等方面產生強大的協同效應，為我國集成電路行業的發展注入“芯”活力。
展望未來，嘉芯半導體將繼續聚焦集成電路領域發展的前沿方向，與嘉善復旦研究院繼續開拓深度合作，持續提升關鍵產業鏈、關鍵技術、關鍵產品能級，源源不斷地為實現中國集成電路產業蓬勃發展貢獻智慧與力量。
本文來源：財經報道網
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